缺陷检测仪
产品基于高灵敏度多模式成像技术，并结合激光散射、明暗场、荧光和微分干涉等多种光学成像模式，适用于各类超精密光学元件、先进光电子元器件、半导体晶圆和芯片的缺陷检测及分析。
1.产品性能
最⾼缺陷检测灵敏度：优于100nm
检测材质：各类光学薄膜、光学元器件、光学镜⽚、光学晶体、半导体晶圆等材料
最⼤可检测元件尺⼨:1000mm*1000mm*100mm
2.应用领域
电子、机械、航空航天
3.应用场景
集成电路、航空航天等领域光学元件的检测，已实际应⽤于集成电路投影式光刻机物镜镜⽚、⼤⼝径超精密光学元件缺陷检测。
4.生产/研发单位及单位网址
合肥知常光电科技有限公司
zc-hightech.com
